Dislocation constraint by etch-back process of seed crystal in SiC bulk crystal growth

Tomohisa Kato, Naoki Oyanagi, Yasuo Kitou, Shin Ichi Nishizawa, Kazuo Arai

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

フィンガープリント

「Dislocation constraint by etch-back process of seed crystal in SiC bulk crystal growth」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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