Dislocation constraint by etch-back process of seed crystal in sic bulk crystal growth

Tomohisa Kato, Naoki Ovanagi, Yasuo Kitou, Shin Ichi Nishizawa, Kazuo Arai

研究成果: 書籍/レポート タイプへの寄稿会議への寄与

1 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Dislocation constraint by etch-back process of seed crystal in sic bulk crystal growth」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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