Effect of composition of MOCVD-SrRuO3 top electrode of (Pb, La)(Zr, Ti)O3 capacitor on H2 degradation

Norikazu Okuda, Noriyuki Higashi, Takayuki Watanabe, Hiroshi Funakubo

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

1 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Effect of composition of MOCVD-SrRuO3 top electrode of (Pb, La)(Zr, Ti)O3 capacitor on H2 degradation」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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