Effects of amplitude modulation of rf discharge voltage on growth of nano-particles in reactive plasmas

Kunihiro Kamataki, Hiroshi Miyata, Kazunori Koga, Giichiro Uchida, Naho Itagaki, Daisuke Yamashita, Hidefumi Matsuzaki, Masaharu Shiratani

研究成果: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contribution

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フィンガープリント 「Effects of amplitude modulation of rf discharge voltage on growth of nano-particles in reactive plasmas」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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