Effects of gas flow on particle growth in silane RF discharges

Yasuhiro Matsuoka, Masaharu Shiratani, Tsuyoshi Fukuzawa, Yukio Watanabe, Kyo Seon Kim

研究成果: Contribution to journalArticle

31 引用 (Scopus)

フィンガープリント Effects of gas flow on particle growth in silane RF discharges' の研究トピックを掘り下げます。これらはともに一意のフィンガープリントを構成します。

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