Effects of resist thickness and viscoelasticity on the cavity filling capability in bilayer thermal embossing

Yang Xu, Fujio Tsumori, Takuya Toyooka, Hidetoshi Kotera, Hideshi Miura

研究成果: Contribution to journalArticle査読

18 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Effects of resist thickness and viscoelasticity on the cavity filling capability in bilayer thermal embossing」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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