Effects of Si Layer Thickness on Solid-Phase Crystallization of Stacked Ge/Si/SiO2Structures

Taizoh Sadoh, Hiroki Ohta, Masanobu Miyao

研究成果: Contribution to journalArticle査読

寄稿の翻訳タイトルEffects of Si Layer Thickness on Solid-Phase Crystallization of Stacked Ge/Si/SiO2Structures
本文言語未定義
ページ(範囲)03B004-03B004
ジャーナルJapanese Journal of Applied Physics, Part 2: Letters
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出版ステータス出版済み - 3 23 2009

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