Efficient silicon nitride grating coupler with a dielectric multilayer reflector

Jianxun Hong, Shiyoshi Yokoyama

研究成果: 書籍/レポート タイプへの寄稿会議への寄与

2 被引用数 (Scopus)

抄録

A highly efficient grating coupler with a dielectric multilayer reflector for silicon nitride photonic integrated circuits was proposed. Design, fabrication and optical characterization were presented. The peak coupling efficiency and 3 dB bandwidth are -4.5 dB and 68.0 nm, respectively. The fabrication process is CMOS-compatible with only one etching step.

本文言語英語
ホスト出版物のタイトル22nd Microoptics Conference, MOC 2017
出版社Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
ページ58-59
ページ数2
ISBN(電子版)9784863486096
DOI
出版ステータス出版済み - 11月 19 2017
イベント22nd Microoptics Conference, MOC 2017 - Tokyo, 日本
継続期間: 11月 19 201711月 22 2017

出版物シリーズ

名前22nd Microoptics Conference, MOC 2017
2017-November

その他

その他22nd Microoptics Conference, MOC 2017
国/地域日本
CityTokyo
Period11/19/1711/22/17

!!!All Science Journal Classification (ASJC) codes

  • 原子分子物理学および光学
  • 電子材料、光学材料、および磁性材料

フィンガープリント

「Efficient silicon nitride grating coupler with a dielectric multilayer reflector」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

引用スタイル