Electrostatic measurement of plasma plume dynamics in pulsed laser evaporated graphite

R. M. Mayo, J. W. Newman, A. Sharma, J. Narayan, Y. Yamagata

研究成果: ジャーナルへの寄稿会議記事査読

抄録

Electrostatic (Langmuir) probe measurements were conducted in the carbon pulsed laser evaporation (PLE) plume to investigate plume dynamics and correlate against film properties. Preliminary results indicate electron densities on the order of 1012-1015 cm-3 and electron temperatures approximately 0.25-0.5 eV at 1 cm from the target surface. Plasma density is often observed to increase initially with probe-target separation distance before decreasing.

本文言語英語
ページ数1
ジャーナルIEEE International Conference on Plasma Science
出版ステータス出版済み - 12月 1 1999
外部発表はい
イベントThe 26th IEEE International Conference on Plasma Science (ICOPS99) - Monterey, CA, USA
継続期間: 6月 20 19996月 24 1999

!!!All Science Journal Classification (ASJC) codes

  • 原子分子物理学および光学
  • 凝縮系物理学
  • 電子工学および電気工学

フィンガープリント

「Electrostatic measurement of plasma plume dynamics in pulsed laser evaporated graphite」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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