Emission characteristics of EUV light source by CO2 laser-produced Xe and Sn plasma

H. Tanaka, K. Akinaga, A. Takahashi, T. Okada

研究成果: Contribution to journalConference article査読

12 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Emission characteristics of EUV light source by CO<sub>2</sub> laser-produced Xe and Sn plasma」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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