Energy dependence of angular distributions of sputtered particles by ion-beam bombardment at normal incidence

Yoshinobu Matsuda, Yasutoshi Ueda, Kiichiro Uchino, Katsunori Muraoka, Masanori Akazaki, Yasunori Yamamura, Mitsuo Maeda

研究成果: Contribution to journalArticle査読

28 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Energy dependence of angular distributions of sputtered particles by ion-beam bombardment at normal incidence」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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