Enhanced oxidation of Si using low-temperature oxidation catalyst SrTi1− x Mg x O3−δ

Li Li, Akihiro Ikeda, Tanemasa Asano

研究成果: Contribution to journalArticle査読

本文言語英語
ページ(範囲)06GJ05
ジャーナルJapanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers & Short Notes
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出版ステータス出版済み - 2016

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