Enhanced thermal oxidation using Sr Ti1-x Mgx O3-δ catalyst and its application to 4H-SiC

Li Li, Akihiro Ikeda, Tanemasa Asano

研究成果: Contribution to conferencePaper査読

本文言語英語
ページ442-445
出版ステータス出版済み - 7 2016
イベントAsia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices -
継続期間: 7 4 2016 → …

会議

会議Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices
Period7/4/16 → …

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