Epitaxial growth of β-SiC by tetramethylsilane supersonic free jets: precursor control effects

Yoshifumi Ikoma, Fumiya Watanabe, Teruaki Motooka

    研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

    本文言語英語
    ページ(範囲)221-224
    ジャーナルInstitute of Physics Conference Series
    142
    出版ステータス出版済み - 1996

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