| 本文言語 | 英語 |
|---|---|
| ページ（範囲） | 221-224 |
| ジャーナル | Institute of Physics Conference Series |
| 巻 | 142 |
| 出版ステータス | 出版済み - 1996 |
Epitaxial growth of β-SiC by tetramethylsilane supersonic free jets: precursor control effects
Yoshifumi Ikoma, Fumiya Watanabe, Teruaki Motooka
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