Evaluation of Damage Induced by Low-Energy Ion Irradiation in Silicon

Akiyoshi Baba, Taizoh Sadoh, Atsushi[et al] Kenjo

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

本文言語英語
ページ(範囲)127-138
ページ数12
ジャーナルMemoirs of the Faculty of Engineering, Kyushu University
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出版ステータス出版済み - 6月 1995

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