Extremely enhanced diffusion of nitrogen in 4H-SiC observed in liquid-nitrogen immersion irradiation of excimer laser

A. Ikeda, D. Marui, H. Ikenoue, T. Asano

研究成果: 著書/レポートタイプへの貢献会議での発言

2 引用 (Scopus)
元の言語英語
ホスト出版物のタイトルSilicon Carbide and Related Materials 2014
編集者Didier Chaussende, Gabriel Ferro
出版者Trans Tech Publications Ltd
ページ448-451
ページ数4
ISBN(印刷物)9783038354789
DOI
出版物ステータス出版済み - 1 1 2015
イベントEuropean Conference on Silicon Carbide and Related Materials, ECSCRM 2014 - Grenoble, フランス
継続期間: 9 21 20149 25 2014

出版物シリーズ

名前Materials Science Forum
821-823
ISSN(印刷物)0255-5476

その他

その他European Conference on Silicon Carbide and Related Materials, ECSCRM 2014
フランス
Grenoble
期間9/21/149/25/14

    フィンガープリント

All Science Journal Classification (ASJC) codes

  • Materials Science(all)
  • Condensed Matter Physics
  • Mechanics of Materials
  • Mechanical Engineering

これを引用

Ikeda, A., Marui, D., Ikenoue, H., & Asano, T. (2015). Extremely enhanced diffusion of nitrogen in 4H-SiC observed in liquid-nitrogen immersion irradiation of excimer laser. : D. Chaussende, & G. Ferro (版), Silicon Carbide and Related Materials 2014 (pp. 448-451). (Materials Science Forum; 巻数 821-823). Trans Tech Publications Ltd. https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/MSF.821-823.448