Extremely Enhanced Diffusion of Nitrogen in 4H-SiC Observed in Liquid-Nitrogen Immersion Irradiation of Excimer Laser

Akihiro Ikeda, Daichi Marui, Hiroshi Ikenoue, Tanemasa Asano

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

本文言語英語
ページ(範囲)448-451
ジャーナルMaterials Science Forum
821-823
出版ステータス出版済み - 5月 2015

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