Extremely enhanced diffusion of nitrogen in 4H-SiC observed in liquid-nitrogen immersion irradiation of excimer laser

A. Ikeda, D. Marui, H. Ikenoue, T. Asano

研究成果: 書籍/レポート タイプへの寄稿会議への寄与

2 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Extremely enhanced diffusion of nitrogen in 4H-SiC observed in liquid-nitrogen immersion irradiation of excimer laser」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。