Fabrication and application of structured nanofiber on chip

研究成果: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contribution

抄録

We proposed the fabrication method of nanofibers on Si substrate using FIB milling and selective wet etching for integrated optical applications. The diameter of nanofiber could be well-controlled from 2 μm to 300 nm.

本文言語英語
ホスト出版物のタイトル2013 Conference on Lasers and Electro-Optics Pacific Rim, CLEO-PR 2013
DOI
出版ステータス出版済み - 2013
イベント10th Conference on Lasers and Electro-Optics Pacific Rim, CLEO-PR 2013 - Kyoto, 日本
継続期間: 6 30 20137 4 2013

出版物シリーズ

名前Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics, CLEO - Technical Digest

その他

その他10th Conference on Lasers and Electro-Optics Pacific Rim, CLEO-PR 2013
国/地域日本
CityKyoto
Period6/30/137/4/13

All Science Journal Classification (ASJC) codes

  • 電子材料、光学材料、および磁性材料
  • 原子分子物理学および光学
  • 凝縮系物理学
  • 電子工学および電気工学

フィンガープリント

「Fabrication and application of structured nanofiber on chip」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

引用スタイル