Fabrication of nanoparticles of oxide materials by UV pulsed laser ablation in gas phase

Rio Suzuki, Reiji Koike, Keita Katayama, Mitsuhiro Higashihata, Hiroshi Ikenoue, Daisuke Nakamura

研究成果: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contribution

抄録

SiO2 nanoporous films has been attracting attention as low-k dielectric constant insulating films. We have succeeded in SiO2 nanoparticles with a particle size of a few nm and depositing a nanoporous film by pulsed laser deposition with controlling the ambient gas pressure. However, the details of the formation process of SiO2 nanoparticles have not been clarified. In this study, we visualized the time-resolved nanoparticle distribution in the gas phase by laser imaging technique to clarify the nanoparticle formation process and to be helpful for optimizing the growth condition of the low-k nanoporous film.

本文言語英語
ホスト出版物のタイトルLaser-Based Micro- and Nanoprocessing XV
編集者Udo Klotzbach, Akira Watanabe, Rainer Kling
出版社SPIE
ISBN(電子版)9781510641839
DOI
出版ステータス出版済み - 2021
イベントLaser-Based Micro- and Nanoprocessing XV 2021 - Virtual, Online, 米国
継続期間: 3 6 20213 11 2021

出版物シリーズ

名前Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
11674
ISSN(印刷版)0277-786X
ISSN(電子版)1996-756X

会議

会議Laser-Based Micro- and Nanoprocessing XV 2021
国/地域米国
CityVirtual, Online
Period3/6/213/11/21

All Science Journal Classification (ASJC) codes

  • 電子材料、光学材料、および磁性材料
  • 凝縮系物理学
  • コンピュータ サイエンスの応用
  • 応用数学
  • 電子工学および電気工学

フィンガープリント

「Fabrication of nanoparticles of oxide materials by UV pulsed laser ablation in gas phase」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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