Fabrication of probe tips for nanoscale 3D metrology

K. Uchiyama, H. Murakami, A. Katsuki, T. Sajima, T. Yamamoto, R. Nagata, K. Fujiyoshi

研究成果: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contribution

本文言語英語
ホスト出版物のタイトルProceedings - 32nd ASPE Annual Meeting
出版社American Society for Precision Engineering, ASPE
ページ305-310
ページ数6
ISBN(電子版)9781887706742
出版ステータス出版済み - 2016
イベント32nd Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering, ASPE 2017 - Chartlotte, 米国
継続期間: 10 29 201711 3 2017

出版物シリーズ

名前Proceedings - 32nd ASPE Annual Meeting

その他

その他32nd Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering, ASPE 2017
国/地域米国
CityChartlotte
Period10/29/1711/3/17

All Science Journal Classification (ASJC) codes

  • 地球化学および岩石学
  • 機械工学

引用スタイル