本文言語 | 英語 |
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ページ(範囲) | 1353-1357 |
ページ数 | 5 |
ジャーナル | Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures |
巻 | 22 |
号 | 3 |
DOI | |
出版ステータス | 出版済み - 2004 |
All Science Journal Classification (ASJC) codes
- Condensed Matter Physics
- Electrical and Electronic Engineering