Formation of high quality SGOI structure by modified oxidation-induced GE condensation process

T. Sadoh, R. Matsuura, I. Tsunoda, M. Ninomiya, M. Nakamae, T. Enokida, H. Hagino, M. Miyao

研究成果: Contribution to conferencePaper査読

フィンガープリント

「Formation of high quality SGOI structure by modified oxidation-induced GE condensation process」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science