Formation of low resistance contacts to p-type 4H-SiC using al-film source laser doping

Kento Okamoto, Toshifumi Kikuchi, Akihiro Ikeda, Hiroshi Ikenoue, Tanemasa Asano

研究成果: 書籍/レポート タイプへの寄稿会議への寄与

フィンガープリント

「Formation of low resistance contacts to p-type 4H-SiC using al-film source laser doping」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy