Formation of low resistance contacts to p-type 4H-SiC using laser doping with an Al thin-film dopant source

Kento Okamoto, Toshifumi Kikuchi, Akihiro Ikeda, Hiroshi Ikenoue, Tanemasa Asano

研究成果: ジャーナルへの寄稿 › 学術誌 › 査読

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フィンガープリント

「Formation of low resistance contacts to p-type 4H-SiC using laser doping with an Al thin-film dopant source」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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