Formation of nanoporous SiO2 films with super-low dielectric constant by F2 laser deposition

Ryota Miyano, Toshifumi Kikuchi, Kaname Imokawa, Daisuke Nakamura, Hiroshi Ikenoue

研究成果: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contribution

1 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Formation of nanoporous SiO<sub>2</sub> films with super-low dielectric constant by F<sub>2</sub> laser deposition」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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