Formation of SiC/Si multilayer structures on Si(100) by supersonic free jets of single gas source CH3SiH3

Y. Ikoma, R. Ohtani, T. Motooka

研究成果: Contribution to journalConference article査読

5 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Formation of SiC/Si multilayer structures on Si(100) by supersonic free jets of single gas source CH<sub>3</sub>SiH<sub>3</sub>」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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