Formation of SiO2 thin films on polycrystalline silicon thin films from polysilazane solution by CO2 laser annealing

Daisuke Hishitani, Masahiro Horita, Yasuaki Ishikawa, Yosuke Watanabe, Hiroshi Ikenoue, Yukiharu Uraoka

研究成果: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contribution

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フィンガープリント

「Formation of SiO2 thin films on polycrystalline silicon thin films from polysilazane solution by CO2 laser annealing」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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