Formation of solution-derived SiO2 thin films by CO2 laser annealing for polycrystalline silicon thin film transistors

Daisuke Hishitani, Masahiro Horita, Yasuaki Ishikawa, Yosuke Watanabe, Hiroshi Ikenoue, Yukiharu Uraoka

研究成果: 書籍/レポート タイプへの寄稿会議への寄与

フィンガープリント

「Formation of solution-derived SiO2 thin films by CO2 laser annealing for polycrystalline silicon thin film transistors」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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Chemical Compounds