FORMATION OF THICK, THERMALLY-STABLE HIGH-RESISTIVITY-LAYERS IN GaAs BY OXYGEN ION IMPLANTATION.

Tanemasa Asano, Rosen D. Atanassov, Hiroshi Ishiwara, Seijiro Furukawa

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

フィンガープリント

「FORMATION OF THICK, THERMALLY-STABLE HIGH-RESISTIVITY-LAYERS IN GaAs BY OXYGEN ION IMPLANTATION.」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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Engineering & Materials Science