Fundamental investigation for stochastic metrology with multi-sensors for micro-system technology: In case of optical path length

M. Michihata, P. D. Tran, Terutake Hayashi, Y. Takaya

研究成果: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contribution

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フィンガープリント

「Fundamental investigation for stochastic metrology with multi-sensors for micro-system technology: In case of optical path length」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy