Growth behavior of boron-doped diamond in microwave plasma-assisted chemical vapor deposition using trimethylboron as the dopant source

Hideaki Maeda, Kyo Ohtsubo, Masanori Kameta, Takeyasu Saito, Katsuki Kusakabe, Shigeharu Morooka, Tanemasa Asano

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

22 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Growth behavior of boron-doped diamond in microwave plasma-assisted chemical vapor deposition using trimethylboron as the dopant source」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds