Growth Control of Clusters in Reactive Plasmas and Application to High-Stability a-Si: H Film Deposition

研究成果: 書籍/レポート タイプへの寄稿

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フィンガープリント

「Growth Control of Clusters in Reactive Plasmas and Application to High-Stability a-Si: H Film Deposition」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。