High-concentration, low-temperature, and low-cost excimer laser doping for 4h-sic power device fabrication

Kaname Imokawa, Toshifumi Kikuchi, Kento Okamoto, Daisuke Nakamura, Akihiro Ikeda, Tanemasa Asano, Hiroshi Ikenoue

研究成果: 書籍/レポート タイプへの寄稿会議への寄与

1 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「High-concentration, low-temperature, and low-cost excimer laser doping for 4h-sic power device fabrication」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Physics & Astronomy

Chemical Compounds