High interfacial quality metal-oxide-semiconductor capacitor on (111) oriented 3C-SiC with Al2O3 interlayer and its internal charge analysis

Ryusei Oka, Keisuke Yamamoto, Hiroshi Akamine, Dong Wang, Hiroshi Nakashima, Shigeomi Hishiki, Keisuke Kawamura

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

2 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「High interfacial quality metal-oxide-semiconductor capacitor on (111) oriented 3C-SiC with Al2O3 interlayer and its internal charge analysis」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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