High n-type Sb dopant activation in Ge-rich poly-Ge1-xSnx layers on SiO2 using pulsed laser annealing in flowing water

Kouta Takahashi, Masashi Kurosawa, Hiroshi Ikenoue, Mitsuo Sakashita, Osamu Nakatsuka, Shigeaki Zaima

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

12 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「High n-type Sb dopant activation in Ge-rich poly-Ge1-xSnx layers on SiO2 using pulsed laser annealing in flowing water」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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