High quality GaN film growth on AlN buffer layer, pretreated with alternating pulsative supply of TMG and NH3

Jin Soo Hwang, Satoru Tanaka, Sohachi Iwai, Yoshinobu Aoyagi, Seeyearl Seong

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

1 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「High quality GaN film growth on AlN buffer layer, pretreated with alternating pulsative supply of TMG and NH3」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering

Chemistry

Material Science

Physics

Agricultural and Biological Sciences