Hybrid integration of LiNbO 3 thin films on micromachined Si substrates using room-temperature transfer bonding

R. Takigawa, E. Higurashi, T. Suga, T. Kawanishi

研究成果: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contribution

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フィンガープリント

「Hybrid integration of LiNbO <sub>3</sub> thin films on micromachined Si substrates using room-temperature transfer bonding」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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