Hydrogen gas driven permeation through tungsten deposition layer formed by hydrogen plasma sputtering

Keiichiro Uehara, Kazunari Katayama, Hiroyuki Date, Satoshi Fukada

研究成果: Contribution to journalArticle査読

8 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Hydrogen gas driven permeation through tungsten deposition layer formed by hydrogen plasma sputtering」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds