Improved single crystalline mirror actuated electrostatically by terraced electrodes with high-aspect ratio torsion spring

Renshi Sawada, J. Yamaguchi, E. Higurashi, A. Shimizu, T. Yamamoto, N. Takeuchi, Y. Uenishi

    研究成果: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contribution

    15 被引用数 (Scopus)

    抄録

    This paper describes improvements made to a single-crystal mirror actuated electrostatically by terraced electrodes with a high-aspect ratio torsion spring. The improvements are reduced mirror pitch, increased mirror size, and higher stability from the electrical viewpoint.

    本文言語英語
    ホスト出版物のタイトル2003 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS
    出版社Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
    ページ153-154
    ページ数2
    ISBN(電子版)078037830X, 9780780378308
    DOI
    出版ステータス出版済み - 1 1 2003
    イベント2003 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS - Waikoloa, 米国
    継続期間: 8 18 20038 21 2003

    出版物シリーズ

    名前2003 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS

    その他

    その他2003 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS
    Country米国
    CityWaikoloa
    Period8/18/038/21/03

    All Science Journal Classification (ASJC) codes

    • Engineering(all)

    フィンガープリント 「Improved single crystalline mirror actuated electrostatically by terraced electrodes with high-aspect ratio torsion spring」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

    引用スタイル