In-situ monitoring of dopant concentration variation in a silicon melt during Czochralski growth

Koichi Kakimoto, Minoru Eguchi, Taketoshi Hibiya

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

14 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「In-situ monitoring of dopant concentration variation in a silicon melt during Czochralski growth」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Physics & Astronomy

Chemical Compounds