In situ real-time monitoring of changes in the surface roughness during nonadiabatic optical near-field etching

T. Yatsui, K. Hirata, Y. Tabata, W. Nomura, T. Kawazoe, M. Naruse, M. Ohtsu

    研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

    14 被引用数 (Scopus)

    フィンガープリント

    「In situ real-time monitoring of changes in the surface roughness during nonadiabatic optical near-field etching」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

    Engineering & Materials Science

    Chemical Compounds