Increasing laser-doping depth of al in 4H-SiC by using expanded-pulse excimer laser

Akihiro Ikeda, Takashi Shimokawa, Hiroshi Ikenoue, Tanemasa Asano

研究成果: 書籍/レポート タイプへの寄稿会議への寄与

フィンガープリント

「Increasing laser-doping depth of al in 4H-SiC by using expanded-pulse excimer laser」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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