Influence of widths of discharge and gas density depletion on high repetition glow discharges in an ArF excimer laser for microlithography

Takanobu Ishihara, Tsukasa Hori, Kouji Kakizaki, Kiichiro Uchino

研究成果: Contribution to journalArticle査読

フィンガープリント

「Influence of widths of discharge and gas density depletion on high repetition glow discharges in an ArF excimer laser for microlithography」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science