Investigation of metallic interdiffusion in Al x Ga 1-x N/GaN/sapphire heterostructures used for microelectronic devices by SEM/EDX and SIMS depth profiling

H. Téllez, J. M. Vadillo, J. J. Laserna

    研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

    3 被引用数 (Scopus)

    フィンガープリント

    「Investigation of metallic interdiffusion in Al x Ga 1-x N/GaN/sapphire heterostructures used for microelectronic devices by SEM/EDX and SIMS depth profiling」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

    Medicine & Life Sciences

    Chemical Compounds