Investigation of plasma parameters in a VHF plasma with narrow gap under high gaseous pressure

Hiroshi Muta, Shinichi Kishida, Masayoshi Tanaka, Yasuhiro Yamauchi, Tomoyoshi Baba, Yoshiaki Takeuchi, Hiromu Takatsuka, Yoshinobu Kawai

    研究成果: Contribution to journalArticle査読

    3 被引用数 (Scopus)

    フィンガープリント 「Investigation of plasma parameters in a VHF plasma with narrow gap under high gaseous pressure」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

    Chemical Compounds

    Engineering & Materials Science

    Physics & Astronomy