Investigation of plasma parameters in a VHF plasma with narrow gap under high gaseous pressure

Hiroshi Muta, Shinichi Kishida, Masayoshi Tanaka, Yasuhiro Yamauchi, Tomoyoshi Baba, Yoshiaki Takeuchi, Hiromu Takatsuka, Yoshinobu Kawai

    研究成果: ジャーナルへの寄稿 › 学術誌 › 査読

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    フィンガープリント

    「Investigation of plasma parameters in a VHF plasma with narrow gap under high gaseous pressure」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

    Physics