Investigation of the thermalization of sputtered atoms in a magnetron discharge using laser-induced fluorescence

W. Z. Park, T. Eguchi, C. Honda, K. Muraoka, Y. Yamagata, B. W. James, M. Maeda, M. Akazaki

研究成果: Contribution to journalArticle査読

19 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Investigation of the thermalization of sputtered atoms in a magnetron discharge using laser-induced fluorescence」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy