Ion implantation and diffusion behavior of silver in zinc oxide

Isao Sakaguchi, Ken Watanabe, Takeshi Ohgaki, Tsubasa Nakagawa, Shunichi Hishita, Yutaka Adachi, Naoki Ohashi, Hajime Haneda

研究成果: Contribution to journalArticle査読

11 被引用数 (Scopus)

抄録

Silver implantation (75 keV, 2 × 1014 ions/cm2) in ZnO ceramics was carried out at room temperature to characterize the diffusion phenomenon. Annealing caused Ag evaporation from the sample. Results suggest that it is difficult to incorporate Ag into Zn site by annealing. The Ag profile with the monotonous decrease in concentration below 3 × 10 17/cm3 was observed in ZnO annealed at 900°C. Above results become the basic results for producing the ZnO sensor used the reaction at surface and the grain boundary.

本文言語英語
ページ(範囲)217-219
ページ数3
ジャーナルJournal of the Ceramic Society of Japan
118
1375
DOI
出版ステータス出版済み - 3 2010
外部発表はい

All Science Journal Classification (ASJC) codes

  • セラミックおよび複合材料
  • 化学 (全般)
  • 凝縮系物理学
  • 材料化学

フィンガープリント

「Ion implantation and diffusion behavior of silver in zinc oxide」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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