IR absorption spectroscopy of deposition process of amorphous carbon film due to ethylene plasma

Masanori Shinohara, Taisuke Tominaga, Hayato Shimomura, Takeshi Ihara, Yoshihito Yagyu, Tamiko Ohshima, Hiroharu Kawasaki

研究成果: Contribution to journalArticle査読

フィンガープリント 「IR absorption spectroscopy of deposition process of amorphous carbon film due to ethylene plasma」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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